本项目在高级别Class1000无尘室环境内，打造了一个完整的AMHS（自动化物料搬运系统）示范平台。核心作业区净高4.5m，地面采用防静电环氧地坪，全面满足半导体制造对洁净与静电防护的严苛要求。

示范线核心聚焦于12英寸晶圆载具（FOUP/MGZ） 的自动化流转，系统设计确保了除立体存储库（Stocker）外，各设备站点的容载量均达到其物理设计的最大值。项目成功集成了 IAR（集成应用机器人，含配套充电桩）、E-Rack设备架、EQ工艺设备架 等关键模块，完整模拟了晶圆厂内从物料存储、设备间搬运到工艺设备上下料的真实场景。

该示范线不仅生动演示了AMHS系统的协同调度能力，更为客户提供了进行流程测试、产能验证和新技术评估的实体沙盒，是面向未来智能制造的核心验证与展示窗口。