从事硅材料业务的某集团是一家12英寸电子级硅单晶抛光片和外延片的提供商,引入数十台海康机器人复合机器人系列,实现晶圆生产过程中开放式载具的上下料,对接多种机台,实现生产过程的全自动化上下料。
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